亂流式(TurbulentFlow)

空調(diào)器箱內(nèi)的空氣通過經(jīng)風管進入潔凈室(HEPA)，由潔凈室兩側(cè)的隔間壁板或高架地板進行回風。流場以非曲線形式運動，并無定規(guī)的亂流或渦流形態(tài)。此類型可與1000-100,000級清潔室合用。然而，凈化車間凈化工程對人們生活的作用卻不容忽視，凈化車間凈化工程所生產(chǎn)的食品更加環(huán)保衛(wèi)生，性能更加優(yōu)良的電子設(shè)備，更加安全衛(wèi)生的設(shè)備，與人體接觸的化妝品，等等，都是在凈化工程中產(chǎn)生的。

優(yōu)點：簡單，系統(tǒng)成型成本低，對潔凈室擴大比力容易，在某些特殊用途的場合，可與無塵機配合使用，提高潔凈室的潔凈等級。

不利之處：在室內(nèi)空間，雜亂無章形成的塵埃顆粒不容易排出，容易污染造程，賣得貨。其他如果系統(tǒng)停機運行，重新啟動，要達到要求的干凈程度，往往需要花費相當長的時間。

層流動的空氣流動成一條均勻的彎曲線，空氣通過覆蓋100%的過濾器流入室內(nèi)，通過高架地面或兩側(cè)的隔墻板回風。此類型合用于潔凈室等級要求定得較高的環(huán)境，其潔凈室等級一般為1~100。其類型可以分為兩種：

等級分層：等級空氣自過濾器雙向吹出，由對側(cè)墻之回風系統(tǒng)進行回風，塵埃隨風向排出室外，一般正在下流側(cè)污染較為嚴重。

優(yōu)點：簡單，運轉(zhuǎn)后很短的時間內(nèi)就能釀造不變。此凈化方式比全室凈化更容易保證局部空間的高潔凈度，且因工作臺間相互連接，可減少或防止交叉污染。

不利條件：建造成本較亂流高，室內(nèi)空間不易擴展。

(2)垂直流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣從上到下被吹得很干凈，并且在建造過程中或工作人員產(chǎn)生的灰塵可以迅速排出室外而不影響其他工作區(qū)域?，F(xiàn)在，集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)廣泛采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)的形式，它兼具集中式和分散式的優(yōu)點，更能適應(yīng)生產(chǎn)過程的要求和施工的客觀條件。

優(yōu)點：操作簡單，開機短時間內(nèi)便可達到形態(tài)不變，不容易被功課形態(tài)或老師影響。新建筑應(yīng)根據(jù)潔凈室的面積、凈高度、位置和消聲減振等要求，綜合技術(shù)經(jīng)濟比較，確定送風方案為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)或分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

不利條件：造價高，使用空間彈性差，天花吊架占相當大的空間，更換濾網(wǎng)維護更費事。

復(fù)合型(MixedType)

復(fù)合為將雜流與層流合二為一或同時使用，可供部分超潔凈空氣供應(yīng)。負密封是使濾清器與靜壓箱及機架接頭的外部周圍處于負壓狀態(tài)，與明裝形式一樣，即使漏水也不會漏到室內(nèi)。

(1)清潔程度(CleanTunnel)：用HEPA或ULPA過濾器將造程區(qū)或工做區(qū)覆蓋100%，清潔程度等級提高到10級以上，可節(jié)省安裝運行費用。這個類型要求將作業(yè)人員之工作區(qū)取賣貨物與機械維修分開，以防止在進行機械維修時影響工作區(qū)及品量。這一類型在ULSI造程中大多被接受。超出有效期的物料不能使用。

清潔工具還具有兩個優(yōu)點：A.伸縮方便，B.修理機械工具時可以在維修區(qū)域內(nèi)隨意使用。每一件工裝上的修補次數(shù)、修補總面積和修補頻率應(yīng)有一個限制。

(2)清潔管道：將已售出商品流程中顛倒的主動消耗品包裝并凈化處理，將清潔等級提高到100以上。由于銷售得貨與功課員及除塵環(huán)境相互隔離，少量之送風就能達到優(yōu)質(zhì)潔凈，可節(jié)省能源，無需人工主動化消耗線為適宜使用。醫(yī)藥，食品行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)都是合作伙伴。滿足了要求，但又經(jīng)常浪費大量人力物力，延誤工期，延誤GMP認證過程。

凈化工程室內(nèi)靜電引發(fā)的事故主要有以下幾點。

(1)靜電造成的靜電電擊，造成人的不平靜感和恐懼感，并可能造成二次傷害(例如，人因被電擊而跌倒，跌倒后受傷)；

2.靜電放電產(chǎn)生的放電電流，可引起損壞和誤動，如將50個P-MOS電路放入一個塑料袋中，搖晃數(shù)次后，取非門柵嚴重擊穿者39個，失效率競達78%，這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電有很強的活絡(luò)；

三、靜電放電產(chǎn)生的電磁波會引起電子儀器和裝置的純音和誤動。

四、靜電放電產(chǎn)生的發(fā)光會引起感光破壞，如照相肢片；

5.靜電產(chǎn)生的機械現(xiàn)象會引起篩孔被塵埃堵塞，紡絲混亂，印品深度不均勻，以及成品污染。

用凈化空調(diào)器或部分凈化機械工具如潔凈工作臺、棚式垂曲層流單元、層流罩等，在普通空調(diào)環(huán)境中形成部分區(qū)域具有必然潔凈度級環(huán)境的凈化工程凈化處理方式稱為部分凈化。這種方法適合于消費批量較小或操縱現(xiàn)有工廠停止技術(shù)創(chuàng)新的場合。當前，普遍采用的是全室凈化法取部分凈化相分離的凈化處理方式，即清潔技術(shù)進行過程中所采用的凈化方式，它既可使室內(nèi)具有一定的潔凈度，又可使部分區(qū)域達到高清潔度，從而達到既滿足消費對高清潔度環(huán)境的要求，又節(jié)省能源的雙重目的。舉例來說，需要100級干凈度的操作工段，在消耗批量較大時，只要在潔凈度較低的混亂狀態(tài)下，只要操作潔凈工位或?qū)恿髡值炔糠謨艋瘷C械工具，就可以實現(xiàn)全室凈化取部分凈化相分離凈化模式。

靜電事故的發(fā)生正在于靜電的發(fā)生和積累，而操作時氣流的活動，氣流與管道、風口、過濾器等摩擦，人體與衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、噴射、洗滌、攪拌、粘合、剝離等操作，都有可能發(fā)生靜電，正在人們普遍認為，越是導(dǎo)電的非導(dǎo)體(絕緣體)，越容易產(chǎn)生電導(dǎo)，因為帶電后就不易移動，所以就更容易帶電。

因此，目前潔凈室中靜電問題十分嚴重，這是因為在潔凈室中不單存在上述靜電發(fā)生的多種工藝因素，而且由于潔凈室中大量的質(zhì)料如塑膠空氣、墻面、尼龍、確實良等工裝都具有較高的電阻率，都較易發(fā)生靜電并聚集靜電，正在潔凈室中靜電災(zāi)難未被重視之前，這些質(zhì)料已被廣泛接受。