亂流式(TurbulentFlow)

空調器箱內的空氣通過經風管進入潔凈室(HEPA)，由潔凈室兩側的隔間壁板或高架地板進行回風。流場以非曲線形式運動，并無定規(guī)的亂流或渦流形態(tài)。此類型可與1000-100,000級清潔室合用。然而，凈化車間凈化工程對人們生活的作用卻不容忽視，凈化車間凈化工程所生產的食品更加環(huán)保衛(wèi)生，性能更加優(yōu)良的電子設備，更加安全衛(wèi)生的設備，與人體接觸的化妝品，等等，都是在凈化工程中產生的。

優(yōu)點：簡單，系統(tǒng)成型成本低，對潔凈室擴大比力容易，在某些特殊用途的場合，可與無塵機配合使用，提高潔凈室的潔凈等級。

不利之處：在室內空間，雜亂無章形成的塵埃顆粒不容易排出，容易污染造程，賣得貨。其他如果系統(tǒng)停機運行，重新啟動，要達到要求的干凈程度，往往需要花費相當長的時間。

層流動的空氣流動成一條均勻的彎曲線，空氣通過覆蓋100%的過濾器流入室內，通過高架地面或兩側的隔墻板回風。此類型合用于潔凈室等級要求定得較高的環(huán)境，其潔凈室等級一般為1~100。其類型可以分為兩種：

等級分層：等級空氣自過濾器雙向吹出，由對側墻之回風系統(tǒng)進行回風，塵埃隨風向排出室外，一般正在下流側污染較為嚴重。

優(yōu)點：簡單，運轉后很短的時間內就能釀造不變。此凈化方式比全室凈化更容易保證局部空間的高潔凈度，且因工作臺間相互連接，可減少或防止交叉污染。

不利條件：建造成本較亂流高，室內空間不易擴展。

(2)垂直流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣從上到下被吹得很干凈，并且在建造過程中或工作人員產生的灰塵可以迅速排出室外而不影響其他工作區(qū)域?，F在，集中式凈化空調系統(tǒng)廣泛采用分散式凈化空調系統(tǒng)的形式，它兼具集中式和分散式的優(yōu)點，更能適應生產過程的要求和施工的客觀條件。

優(yōu)點：操作簡單，開機短時間內便可達到形態(tài)不變，不容易被功課形態(tài)或老師影響。新建筑應根據潔凈室的面積、凈高度、位置和消聲減振等要求，綜合技術經濟比較，確定送風方案為集中式凈化空調系統(tǒng)或分散式凈化空調系統(tǒng)。

不利條件：造價高，使用空間彈性差，天花吊架占相當大的空間，更換濾網維護更費事。

復合型(MixedType)

復合為將雜流與層流合二為一或同時使用，可供部分超潔凈空氣供應。負密封是使濾清器與靜壓箱及機架接頭的外部周圍處于負壓狀態(tài)，與明裝形式一樣，即使漏水也不會漏到室內。

(1)清潔程度(CleanTunnel)：用HEPA或ULPA過濾器將造程區(qū)或工做區(qū)覆蓋100%，清潔程度等級提高到10級以上，可節(jié)省安裝運行費用。這個類型要求將作業(yè)人員之工作區(qū)取賣貨物與機械維修分開，以防止在進行機械維修時影響工作區(qū)及品量。這一類型在ULSI造程中大多被接受。超出有效期的物料不能使用。

清潔工具還具有兩個優(yōu)點：A.伸縮方便，B.修理機械工具時可以在維修區(qū)域內隨意使用。每一件工裝上的修補次數、修補總面積和修補頻率應有一個限制。

(2)清潔管道：將已售出商品流程中顛倒的主動消耗品包裝并凈化處理，將清潔等級提高到100以上。由于銷售得貨與功課員及除塵環(huán)境相互隔離，少量之送風就能達到優(yōu)質潔凈，可節(jié)省能源，無需人工主動化消耗線為適宜使用。醫(yī)藥，食品行業(yè)和半導體行業(yè)都是合作伙伴。滿足了要求，但又經常浪費大量人力物力，延誤工期，延誤GMP認證過程。

凈化工程室內靜電引發(fā)的事故主要有以下幾點。

(1)靜電造成的靜電電擊，造成人的不平靜感和恐懼感，并可能造成二次傷害(例如，人因被電擊而跌倒，跌倒后受傷)；

2.靜電放電產生的放電電流，可引起損壞和誤動，如將50個P-MOS電路放入一個塑料袋中，搖晃數次后，取非門柵嚴重擊穿者39個，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電有很強的活絡；

三、靜電放電產生的電磁波會引起電子儀器和裝置的純音和誤動。

四、靜電放電產生的發(fā)光會引起感光破壞，如照相肢片；

5.靜電產生的機械現象會引起篩孔被塵埃堵塞，紡絲混亂，印品深度不均勻，以及成品污染。

用凈化空調器或部分凈化機械工具如潔凈工作臺、棚式垂曲層流單元、層流罩等，在普通空調環(huán)境中形成部分區(qū)域具有必然潔凈度級環(huán)境的凈化工程凈化處理方式稱為部分凈化。這種方法適合于消費批量較小或操縱現有工廠停止技術創(chuàng)新的場合。當前，普遍采用的是全室凈化法取部分凈化相分離的凈化處理方式，即清潔技術進行過程中所采用的凈化方式，它既可使室內具有一定的潔凈度，又可使部分區(qū)域達到高清潔度，從而達到既滿足消費對高清潔度環(huán)境的要求，又節(jié)省能源的雙重目的。舉例來說，需要100級干凈度的操作工段，在消耗批量較大時，只要在潔凈度較低的混亂狀態(tài)下，只要操作潔凈工位或層流罩等部分凈化機械工具，就可以實現全室凈化取部分凈化相分離凈化模式。

靜電事故的發(fā)生正在于靜電的發(fā)生和積累，而操作時氣流的活動，氣流與管道、風口、過濾器等摩擦，人體與衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、噴射、洗滌、攪拌、粘合、剝離等操作，都有可能發(fā)生靜電，正在人們普遍認為，越是導電的非導體(絕緣體)，越容易產生電導，因為帶電后就不易移動，所以就更容易帶電。

因此，目前潔凈室中靜電問題十分嚴重，這是因為在潔凈室中不單存在上述靜電發(fā)生的多種工藝因素，而且由于潔凈室中大量的質料如塑膠空氣、墻面、尼龍、確實良等工裝都具有較高的電阻率，都較易發(fā)生靜電并聚集靜電，正在潔凈室中靜電災難未被重視之前，這些質料已被廣泛接受。